涉外仲裁争议的当事人将争议提交仲裁后，仲裁机构会按一定程序进行审理，做出裁决。我国涉外仲裁程序制度由民事诉讼法第二十八章关于涉外仲裁的规定。仲裁法第七章关于涉外仲裁的特别规定和《中国国际贸易仲裁委员会仲裁规则》、《中国海事仲裁委员会仲裁规则》的规定构成。
(一)申请与受理
申请人提出仲裁申请时应提交仲裁申请书，并附具申请人请求所依据的事实的证明文件，按照仲裁委员会制定的仲裁费用表的规定预交仲裁费。仲裁申请书应写明下列内容：(1)申请人与被申请人的名称和住所;(2)申请人所依据的仲裁协议;(3)案情和争议要点;(4)申请人的请求所依据的事实和理由及证据。
仲裁委员会收到申请人的仲裁申请书及其附件后，应在一定期限内进行审查，认为符合受理条件的，应当受理，并通知当事人;认为不符合受理条件的，应当书面通知当事人不予受理，并说明理由。
被申请人应在收到仲裁通知之日起45天内向仲裁委员会和书局提交答辩书和有关证明文件。仲裁机构收到答辩书后，应当在仲裁规则规定的期限内将答辩书副本送达申请人。被申请人未提交答辩书，不影响仲裁程序的进行。
被申请人可以承认或者反驳仲裁请求，有权提出反请求。被申请人如提出反请求，最迟应在收到仲裁通知之日起60天内以书面形式提交仲裁委员会。仲裁庭认为有正当理由的，可以适当延长此期限。被申请人提出反请求时，应在反请求中写明具体的反请求及所依据的事实和理由，并附具有关的证明文件。被申请人提出反请求时，应当按照仲裁委员会的仲裁费用表的规定预缴仲裁费。申请人对被申请人的反请求未提出书面答辩的，也不影响仲裁程序的进行。
当事人可以委托仲裁代理人办理有关的仲裁事项;接受委托的仲裁代理人，应向仲裁委员会提交授权委托书。中国公民和外国公民均可以接受委托，担任仲裁代理人。
(二)保全措施
一方当事人因另一方当事人的行为或者其他原因，可能使仲裁不能执行或者难以执行的，可以申请财产保全，仲裁委员会应当将当事人的申请提交被申请人住所地或其财产所在地的人民法院作出裁定。申请有错误的，申请人应当赔偿被申请人因财产保全所遭受的损失。按仲裁法第68条规定，当事人申请证据保全，仲裁委员会应当将当事人的申请提交证据所在地的中级人民法院作出裁定。
(三)仲裁庭的组成
在中国国际经济贸易仲裁委员会进行涉外仲裁时，仲裁庭可以由3名仲裁员或者1名仲裁员组成。仲裁庭组成后，仲裁委员会应将仲裁庭的组成情况书面通知当事人。
由3名仲裁员组成的仲裁庭应当由双方当事人各自在仲裁委员会名册中选定一名仲裁员或委托仲裁委员会主任指定。申请人或者被申请人未按照仲裁规则选定或委托仲裁委员会主任指定仲裁员的，则由仲裁委员会主任指定。第三名仲裁员由双方当事人共同选定或共同委托仲裁委员会主任指定。如果双方当事人在被申请人收到仲裁通知之日起20天内未能共同选定或者共同委托仲裁委员会主任指定。由3名仲裁员组成的，设首席仲裁员，由第三名仲裁员担任首席仲裁员。
双方当事人可以在仲裁委员会仲裁员名册中共同选定或者共同委托仲裁委员会主任指定1名仲裁员作独任仲裁员，成立仲裁庭，单独审理案件，但在被申请人收到仲裁通知之日起20天内未能就独任仲裁员的人选达成一致意见的，则由仲裁委员会主任指定。[page]
(四)审理
1.开庭审理
在中国国际经济贸易仲裁委员会进行仲裁，一般应当开庭进行。但经双方当事人申请或征得双方当事人同意，仲裁庭也认为不必开庭审理的，仲裁庭可以依据书面文件进行审理并作出裁决。
2.审理不公开进行
仲裁庭开庭审理案件应不公开进行，如果双方当事人要求公开审理，由仲裁庭作出是否公开审理的决定。
3.缺席审理
仲裁庭开庭审理时，一方当事人不出席，仲裁庭可以进行缺席审理和作出缺席裁决。在仲裁过程中，当事人有权进行辩论，开庭审理时，仲裁庭可以作庭审笔录或录音。
4.和解
仲裁案件，如果当事人在仲裁庭之外自行达成和解，可以请求仲裁庭根据其和解协议的内容作出的裁决书结案，也可以申请撤销案件。在仲裁庭组成前申请撤销案件的，由仲裁委员会秘书长作出决定;在仲裁庭组成后申请撤销案件的，由仲裁庭作出决定。当事人就已经撤销的案件再提出仲裁申请的，由仲裁委员会主任作出受理或不受理的决定。
5.调解
如果双方当事人有调解愿望，或一方当事人有调解愿望并经仲裁庭经征得另一方当事人同意的，仲裁庭可以在仲裁程序进行过程中对其审理的案件进行调解。仲裁庭可以按照其认为适当的方式进行调解。仲裁庭在进行调解的过程中，任何一方当事人提出终止调解或仲裁庭认为已无调解成功的可能性，应停止调解。在仲裁庭进行调解的过程中，双方当事人在仲裁庭之外和解的，应视为是在仲裁庭调解下达成的和解。经仲裁庭调解达成和解的，双方当事人应签订书面和解协议;除非当事人另有约定，仲裁庭应当根据当事人书面和解协议的内容作出裁决书结案。
(五)裁决
1.仲裁裁决作出的原则
对在中国国际经济贸易仲裁委员会进行仲裁的案件，仲裁庭应当根据事实，依照法律和合同规定，参照国际惯例，并遵循公平合理原则，独立公正地作出裁决。
2.裁决书的作出
由3名仲裁员组成仲裁庭审理案件时，仲裁裁决依全体仲裁员或多数仲裁员的意见决定，少数仲裁员的意见可以作成记录附卷。仲裁庭不能形成多数意见时，仲裁裁决依首席仲裁员的意见作出。仲裁庭在其作出的仲裁裁决中，应当写明仲裁请求、争议事实、裁决理由、裁决结果、仲裁费用的负担、裁决的日期和地点。当事人协议不愿写明争议事实和裁决理由的，以及按照双方当事人和解协议的内容作出裁决的，可以不写明争议事实和裁决理由。除非仲裁裁决依首席仲裁员意见或独任仲裁员意见作出，仲裁裁决应由多数仲裁员署名。持有不同意见的仲裁员可以在裁决书上署名，也可以不署名。
3.仲裁裁决的效力
仲裁裁决是终局的，对双方当事人均有约束力。任何一方当事人不得向法院起诉。也不得向其他任何机构提出变更仲裁的请求。作出仲裁裁决书的日期，即为仲裁裁决发生法律效力的日期。
